X 射线三维显微镜使用多种类型的 X 射线源,以下是常见的几种:
一、热阴极 X 射线源
热阴极 X 射线源是较为传统的一种。它通过加热灯丝(一般是钨丝)产生热电子,热电子在高压电场的加速下撞击金属靶(如铜靶、钼靶等)。当高速电子撞击靶材时,电子的动能会转化为 X 射线。这种 X 射线源的优点是技术成熟、成本相对较低。其产生的 X 射线能量可以通过调节加速电压来控制,能够提供比较稳定的 X 射线束。例如,在一些对分辨率要求不是非常高的材料内部结构初步检测中,热阴极 X 射线源就可以发挥作用。不过,它的缺点是亮度相对有限,对于一些需要高亮度 X 射线进行快速成像或者对微小结构精细成像的情况,可能就不太能满足要求。
二、微焦点 X 射线源
微焦点 X 射线源的焦点尺寸非常小,一般在几微米到几十微米之间。这种小型焦点能够产生高分辨率的 X 射线束。其工作原理和热阴极 X 射线源类似,也是通过电子撞击靶材产生 X 射线。但由于焦点小,它可以在样品上形成更小的照射光斑,这对于观察微小物体或者样品的精细结构特别有利。比如在电子芯片内部线路的检测以及生物细胞内部超微结构成像等方面,微焦点 X 射线源能够提供更清晰的三维图像。不过,微焦点 X 射线源的功率一般相对较低,并且设备成本比热阴极 X 射线源要高。
三、同步辐射 X 射线源
同步辐射 X 射线源是一种非常强大的 X 射线产生装置。它是利用相对论性电子在磁场中做圆周运动时产生的同步辐射光,其中包含了 X 射线波段。同步辐射 X 射线源具有非常高的亮度、良好的准直性和连续的光谱。这使得它能够在很短的时间内获取高分辨率、高质量的三维图像。在材料科学中对纳米级别的晶体结构分析,以及生物大分子的三维结构解析等前沿研究领域,同步辐射 X 射线源发挥着不可替代的作用。但是,同步辐射 X 射线源的设备规模巨大,通常需要大型的加速器设施来产生电子束,建设和运行成本非常高,并且使用时需要申请专门的机时,不是一般实验室能够轻易拥有的。