半导体产品清洁解决方案：离子表面清洁方案

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　　1、表面清洁解决方案：

　　利用等离子表面清洗机在真空等离子室内产生高能无序等离子体，利用等离子轰击被清洗产品的表面，达到清洗的目的。

　　2、表面的解决方法：

　　清洗机处理过的物体可以增强表面能、亲水性、增加附着力和附着力。

　　3、表面蚀刻处理方法：

　　材料表面被反应气体等离子体选择性腐蚀，被腐蚀的材料转化为气相，然后通过真空泵排出，被处理材料的微观比表面增加，具有良好的亲水性。

　　4、纳米涂层处理方法：

　　经等离子表面清洗机处理技术处理后，等离子引导聚合反应形成纳米涂层。通过表面涂层可以使各种材料具有疏水性、亲水性、疏油性和疏油性。

　　5. 解决方案：

　　这实际上是一种等离子刻蚀工艺，通过轰击物体表面达到PBC去除表面胶体的目的。电路板制造商使用等离子清洗机的蚀刻系统来净化和蚀刻，去除钻孔内的绝缘层，并提高产品质量。

　　6. 半导体/LED器件：

　　等离子在半导体行业的应用是基于集成电路的各种元器件和连接线非常精细，所以在工艺过程中很容易造成灰尘、有机物等污染。为避免工艺中等离子引起的问题，后期在工艺中引入等离子设备进行预处理。使用等离子清洗机是为了更好地保护我们的产品，并善用电气设备去除表面有机物和杂质。

　　污染物会导致LED环氧树脂注塑成型过程中气泡形成过快，从而降低产品质量和使用寿命。因此，避免在密封过程中产生气泡也值得关注。采用射频等离子清洗技术，晶圆与基板结合更紧密，胶体气泡形成量大大减少，同时散热及出光率可显着提升。

　　7、TSP/OLED方案：

　　在TSP方面：清洁触摸屏的主要工艺，提高OCA/OCR、贴合、ACF、AR/AF镀膜等工艺的附着力/镀膜力，通过使用各种大气压等离子形式，各种玻璃和薄膜的均匀排出，使表面不受损伤，处理效果好。

　　8、真空等离子喷涂解决方案：

　　由于真空等离子表面清洁器的高能量密度，几乎所有具有稳定熔融相的粉末都可以转化为致密、附着牢固的喷涂涂层，其质量取决于喷涂粉末颗粒的影响。喷涂涂层 在工件表面喷涂涂层。真空等离子喷涂技术提高了现代镀膜机的生产效率。